機能・特長

• 半導体や電子部品等の信頼性評価、試験に最適
• 簡単操作で信頼性のある評価が実現
• 研究開発用に最適な装置、小型、軽量で移動に便利
• チップ部品、ウェーハ等のESD試験に最適
• 信頼性評価試験に有効

 

SE-1000マニュアルプローバ（簡易・コンパクトタイプ）

特長

• 実体顕微鏡を搭載、試料サイズ5mm角からφ5まで可能。
• ウェーハやチップ部品の、プロービングが可能。
• 小型で軽量、持ち運びが容易。
• X,Y,θステージで構成、簡単操作で信頼性のあるコンタクトができます。
• 低価格

装置仕様

• チャックトップ外形：φ130mm
• チャックトップ平坦度：±20μm以下
• X-Yステージ移動量：X軸127mm、Y軸180mm
• 試料台ローテーション：180°
• プローブ・キャリア移動量：13mm
• プローブ・キャリアUP/DOWNストローク：コンタクトからセパレート400μm セパレートからアップ10μm
• 顕微鏡X-Yモーション：X-Yフリーモーション
• 外形寸法：360mm（W）×390mm（D）×500mm（H）約30kg
• 電源：AC100V 50/60Hz 2A

基本構成

• 本体　プローバ　SE-1000型　1台
• 5インチチャック　1台
• マイクロポジショナ　MP-100/110 各1台
• 実体顕微鏡（オリンパス製SZ61）1式（接眼レンズ30倍、総合倍率20.1〜135倍、照明装置付）

 

SE-6003　マニュアルプローバ

特長

• 実体顕微鏡、金属顕微鏡搭載可。
• 試料台はフリーモーションステージ方式で敏感で高精度の位置合せが可能。
• コンタクトモード時フリーモーション固定化。
• ウェーハのプローピングが容易。
• 試料台の脱着ができ、測定目的により組み合わせが可能。
• シールドボックスを使用し低電流測定が可能。

装置仕様

• X-Yステージ移動量：X軸200mm、Y軸200mm
• X-Yサブステージ移動量：φ305mm
• 試料台ローテーション：粗動180°微動10°
• プローブ・キャリア移動量：25mm
• プローブ・キャリアUP/DOWNストローク：コンタクトからセパレード400μm
• 顕微鏡サポートタワーチルト角度：水平に対し10°
• マニュピュレータ搭載数：８台
• 外形寸法：440mm（W）×545mm（D）×590mm（H） 58kg
• 電源：AC100V 50/60Hz 2A