【多ピン全自動試験装置】ESD/ラッチアップテスタ｜モデル7000X

人体モデル（HBM）、機械モデル（MM）のESD試験は半導体素子の静電気放電に対する信頼性試験の中心的課題です。 また、ラッチアップ試験は、主にCMOS ICの信頼性試験項目として省略することはできません。M7000シリーズは、このようなニーズに応えられる国内外の規格に対応したESD/ラッチアップ試験装置です。

M7000シリーズでは、１軸ロボットに取りつけたESDパルス発生ユニットでESDのモデルを決定します。そのため、波形規格への対応が、ESDパルス発生ユニット(EPG)のみの変更で対応でき、長期間ご使用いただけます。

特長・機能

• MIL､EIA/JEDEC､JEITA､AEC､ESDA規格適合
• システムピン数は、最大1024ピン
• システムピンの許容電流は、最大2A (1024ピン仕様)
• 最大10デバイスを一度に試験
• システム診断と波形診断による点検機能
• 5年の保証期間 (オプション)
• 安全対策

ESD部

• 最大印加電圧は8000V
• 高速ESD印加モード
• 多彩なピンコンビネーション試験
• 精密V/I電源を使用した破壊判定
• 高速破壊判定機能 (オプション)

ラッチアップ部

• ラッチアップ検出電源の搭載数は、最大6電源
• Max-Hi Min-Low 3電源とクロック・パターン機能を標準搭載
• 外部電源の追加 (オプション)
• 155℃の高温ラッチアップ試験 (オプション)