通过机器人上的接触针将 HBM、MM 或 CDM(F-CDM 或 D-CDM)应力施加到较大 IC 晶粒的焊盘上,可以测量其耐久性。其他 IC 测试仪或 siplme 源仪表检测损伤。低成本系统预计通过手动操作。可以进行晶圆测试以及切模测试。也可提供 TLP 配置。
近期,诸如 MR 磁头和 GaAs IC 等非常灵敏的 ESD 器件正在增加。为了测量这些器件的 ESD 灵敏度,IC 和 LSI 的传统 ESD 应激器并不适用。
仅探针引脚与 DUT 接触或 ESD 发生器中的继电器噪声都有可能会损坏设备。Ecdm-100E/400E 可以针对这些极其敏感的应用进行修改。
尤其是,修改后的 Ecdm-100E 在 MR 磁头应用中被广泛接受。提供 HBM、MM、CDM(场感应电荷 CDM 和直接电荷 CDM)。
使用短宽度 TLP(传输线脉冲)的 I-V 曲线作为 ESD 保护元件的表征程序得到普及。Ecdm100E/400E 可以为此应用程序进行配置。 虽然手动测量是一项标准,但如果您开发自己的程序,也可以指定 GP-IB 以便进行 PC 控制测试和绘制曲线图。