Ecdm 系列是一款便宜且手动控制的台式 ESD 模拟器。通过更换外部探针或适配器,每个 ESD 事件(如人体模型 (HBM)、机器模型 (MM) 和带电器件模型 (CDM),包括场感应电荷 CDM (F-CDM) 和直接电荷 CDM
如果要求配置传输线脉冲 (TLP) 测试,则通过窄方脉冲进行高电流 V-I 曲线跟踪和鲁棒性测试。结合晶圆工作台和机器人,可以进行晶圆水平测试。
HBM, MM, D-CDM, F-CDM, TLP probes | |
[HBM or MM probe] | [CDM probe, XY stage] |
[AEC (ESDA) Air Discharge probe] | [Mobile charge measurement probe] |