采用 Ecdm 400E 通用 ESD 模拟器的半自动 ESD 测试仪。与手动晶圆探测系统或晶粒操纵器一起使用,可以完成晶圆或晶粒级半自动 ESD 测试以及封装器件测试。 通过 V-I 曲线或泄漏电流变化检测来检测损坏。应力水平和测量点由个人计算机通过 GP-IB 进行编程。一旦选择了测试端子,会自动测量 ESD 耐久性。