トランスミッション・ライン・パルス(TLP)テスト・システムは、幅の狭いパルスを使って、10アンペア程度の大電流領域までの電圧(V)/電流(I)特性を測定する、パルスモード・カーブトレーサです。トランスミッション・ラインとは、高周波信号の接続に使用される同軸ケーブルの事です。同軸ケーブルの反射を使用すると、高電圧で、幅の狭いパルスが、比較的簡単な回路構成で得られることから、欧米では古くから、集積回路のESD保護回路の特性解析に使用されてきました。
しかし、回路構成は簡単ですが、立上り部分がきれいで、パルス振幅が安定した波形を得ることは、極めて困難なため、実験室で構築されたTLPテスト・システムは測定の再現性が充分でありませんでした。
モデル4002は、世界初の商用TLPテストシステムです。この装置で測定しますと、貴社の保護回路の特性が安定していれば安定した曲線が、そうでなければ、折れ曲がった測定結果が得られます。リーク電流の変化を検出することにより、2次降伏電流や、絶縁破壊点を測定することができます。 また、ウェーハプローブ、モデル45001WPを併用すると、ウェーハ上の素子の特性を、測定精度を損なうことなく試験できます。
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