半導体、電子部品の静電気破壊(ESD/CDM)・ラッチアップに対する信頼性を評価する静電破壊試験器

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>> 静電気(ESD)の信頼性試験｜装置一覧

半導体デバイスの信頼性向上を目的とする、国内、国際（JEITA、JEDEC、ESDA、AEC）試験規格に準拠した静電気評価器機のラインナップです。全自動の静電破壊(ESD)試験器、ラッチアップ(Latch-Up)試験器、CDM試験器から、マニュアルのESD試験、CDM試験まで幅広い用途に対応いたします。

全自動ESD/CDM/ラッチアップ試験器

ESD/CDM/ラッチアップ試験対応機
写真	ピンマトリックス	最大印加電圧	VCC電源		試験					モデル
写真	ピンマトリックス	最大印加電圧	内部	外部	ESD	CDM	L-UP	破壊判定	用途	モデル
	-	4000V	-	-	-	○	-	-	IC LSI	M1100-CDM
	64	-	-	3	-	-	○	-		M1100-LUP
	64	8000V	-	-	○	-	-	○		M1100-ESD
	128 256	8000V	6	-	○	○	○	○		M1200

多ピン・高速試験対応機
写真	ピンマトリクス	最大印加電圧	VCC電源		試験					モデル
			内部	外部	ESD	CDM	L-UP	破壊判定	用途
	256 512	8000V	6	4	○	-	○	○	多ピンIC	M7000B
	512 1024									M7000X

ESD/CDM/TLPシミュレータ

写真	最大印加電圧	試験						モデル
		ESD	CDM	TLP	破壊判定	ウェハー	用途
	1000V	○	-	-	○	○	MRヘッド	Ecdm-100EC
	4000V		○	○			半導体電子部品	Ecdm-400EC
	8000V		-	-				Ecdm-800EC
	4000V	○	-	-	○	○	ウェハー	Ecdm-400SW
							チップ部品	Ecdm-400SC
	4000V	○	-	-	○	○	LED電子部品	Ecdm-400S-AUTO
	8000V							Ecdm-800S-AUTO
	4000V	-	-	○	○	○	半導体電子部品	Ecdm-400S-TLP

TLP試験器

モデル4002/4012

■世界初の商用TLPテストシステム■リーク測定機能内臓■超高速応答のスナップ・バック測定

CMRテスタ

	モデル6250
	■dv/dt高電圧パルス発生器■パルス出力電圧（dt）：±100V～±1.5KV■dv/dtの選択：1KV/us、5KV/us、10KV/us、20KV/us、30KV/us